Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Společenství xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx a xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx nahrazuje xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx krokovací x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx xxxxxxx fotooptických xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx světelného zdroje xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx s ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx nejmenšího rozlišitelného xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x velikosti 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx tiskovou litografii xxxxxxxxx „Step and xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x šířce x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
