Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. října 2019, kterým xx xxxx nařízení Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx vývozu, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx a tranzitu xxxxx dvojího užití
( Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx f xx nahrazuje xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx krokovací x xxxxxxx zařízení xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx zdroje xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx exponovat xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx nejmenšího rozlišitelného xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx tiskovou litografii xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x velikosti 45 xx xxxx menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. zahrnuje:
|
—
|
mikrokontaktní xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx nanotiskovou litografii
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x šířce v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx half maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
