Xxxxxx nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) č. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx užití
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx nahrazuje takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx krokovací a xxxxxxx zařízení na xxxxxxxxxx destiček polovodičů xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx menší;
Technická poznámka: ‚Xxxxxxxx nejmenšího xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx tiskovou litografii xxxxxxx vyrábět xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx nanotiskovou litografii
|
|
—
|
nástroje xxx tiskovou xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm a xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx zpracování součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
