Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, kterým xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx L 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx f xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx a xxxxxxxxx xxxx krokovací x xxxxxxx zařízení na xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x těchto vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx než 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx prvku‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx vypočítá xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x velikosti 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3B001.f.2. zahrnuje:
|
—
|
mikrokontaktní xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx nanotiskovou xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx tiskovou litografii xxxxxxxxx „Step xxx xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení speciálně xxxxxxxxxxxx pro výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
