Xxxxxx nařízení Komise x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, kterým se xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx a tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx nahrazuje takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx krokovací x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx destiček xxxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx metod, xxxxx xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx exponovat xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx tiskovou litografii xxxxxxxxx „Xxxx and xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx half xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx zpracování součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
