Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Společenství pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx a tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx xxxxxxxxx xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx krokovací a xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx xxxxxxx fotooptických xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x těchto vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného xxxxxx xxxxxx než 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost exponovat xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx vypočítá xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx xxxx menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx pro xxxxxx za tepla
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx tiskovou xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Step xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x šířce x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx zápisu, která xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
