Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) č. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, bod x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx a krokovací xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx zařízení xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx použití fotooptických xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx světelného xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx s ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x xxxxxxxxx 45 xx nebo menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxxxxxx litografii
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxxxx „Xxxx and xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, která xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx hodnota + 3 sigma);“
|
|
|
|
