Oprava xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx režim Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx zboží xxxxxxx užití
(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx xx zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx nebo „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v polovině xxxxxx (full-width xx xxxx maximum (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx xxxxxxx menší xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (XXXX)) menší xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx použití xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
