Xxxxxx nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10. října 2018, xxxxxx se mění xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední věstník Xxxxxxxx xxxx X 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx xx zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx masek, xxxxx xxxx všechny xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají vychylovaného xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku o xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší než 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná pro xxxxxxxxxx součástek za xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x xxxxx x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
