Xxxxxx nařízení Komise x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, kterým xx zavádí režim Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 a 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx masek, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx at xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx menší xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
