Xxxxxx xxxxxxxx Komise x přenesené pravomoci (XX) 2018/1922 ze xxx 10. října 2018, xxxxxx xx mění xxxxxxxx Rady (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx unie L 319 xx dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx masek, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx half maximum (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
