Oprava xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx unie X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx masek, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku nebo „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx a umístění xxxxxx menší než 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx přímého xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx vlastnosti:
a.
|
mají xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ paprsku; x
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxx paprsku x šířce v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|