Xxxxxx xxxxxxxx Komise x přenesené pravomoci (XX) 2018/1922 xx xxx 10. října 2018, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, kterým xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku o xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width at xxxx xxxxxxx (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x umístění xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
