Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí režim Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně konstruovaná xxx výrobu masek, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx nebo „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width at xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx přímého xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx menší xxx 27 xx (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 xx a xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
|
|
