Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10. října 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx výrobu xxxxx, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx než 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí masky xxxxxx xxxxxxx menší xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx součástek za xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku nejvýše 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx než 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x šířce x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
|
|
