Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2018/1922 xx xxx 10. října 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx režim Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, přepravy, zprostředkování x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx unie X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx elektronový xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x xxxxx x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (XXXX)) menší než 65 nm x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
