Oprava nařízení Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx režim Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx unie X 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx než 27 nm (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x xxxxx v xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
