Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se mění xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx kontrolu xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx o xxxxx v polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx at xxxx maximum (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x umístění xxxxxx menší než 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx menší xxx 27 nm (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx zaostřeného elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx zpracování součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
|
|
