Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10. října 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx unie X 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu masek, xxxxx mají všechny xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx nebo „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x umístění xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (střed + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx xxxxxxxxx za xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx half maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, která xxxx všechny tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
