Oprava nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. října 2019, xxxxxx se xxxx nařízení Xxxx (XX) č. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx vývozu, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx a tranzitu xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx xxxxxxxxx xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx zdroje xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx s ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx prvku‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x velikosti 45 xx nebo xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx nanotiskovou xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxxxx „Step and xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení speciálně xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx než 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
