Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx nařízení Rady (XX) č. 428/2009, xxxxxx se zavádí xxxxx Společenství pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx f xx nahrazuje xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx krokovací x xxxxxxx zařízení na xxxxxxxxxx destiček xxxxxxxxxx xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají některou x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného zdroje xxxxxx než 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného prvku‘ (XXX) 45 xx xxxx menší;
Technická xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx tiskovou litografii xxxxxxx xxxxxxx struktury x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx za xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx and xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx než 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
