Oprava nařízení Komise x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx vývozu, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx dvojího užití
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, bod x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx xxxxxxxx na xxxxxxxxxx destiček polovodičů xx použití fotooptických xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného zdroje xxxxxx než 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx prvku‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx nanotiskovou xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx tiskovou xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Step and xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
