Xxxxxx nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. října 2019, xxxxxx se xxxx nařízení Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Společenství pro xxxxxxxx vývozu, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx destiček xxxxxxxxxx xx xxxxxxx fotooptických xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx mají xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx exponovat xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx prvku‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ xx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx vyrábět struktury x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. zahrnuje:
|
—
|
mikrokontaktní xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx pro xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx litografii
|
|
—
|
nástroje xxx tiskovou xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Step and xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
