Oprava xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. října 2019, kterým xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Společenství xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx věstník Evropské xxxx X 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx xxxxxxx fotooptických xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx než 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se vypočítá xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx tiskovou litografii xxxxxxx vyrábět struktury x velikosti 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje pro xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx and xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
