Xxxxxx nařízení Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx se xxxx nařízení Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx vývozu, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx xxxxxxxxx xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx destiček polovodičů xx xxxxxxx fotooptických xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx zdroje xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx menší;
Technická xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx vypočítá xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx xxxx menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. zahrnuje:
|
—
|
mikrokontaktní xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje pro xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx nanotiskovou litografii
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, která xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“
|
|
|
|
