Xxxxxx xxxxxxxx Komise x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. října 2019, kterým se xxxx xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx xxxxxxxxx xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx a krokovací xxxx krokovací x xxxxxxx xxxxxxxx na xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx metod, xxxxx mají některou x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx s ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x velikosti 45 xx xxxx menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx pro xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Step xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx half xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
