Oprava nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 ze xxx 17. října 2019, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x tranzitu xxxxx xxxxxxx užití
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, bod f xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx a xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx a xxxxxxx zařízení xx xxxxxxxxxx destiček xxxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx mají některou x těchto vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného zdroje xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx s ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx prvku‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx nejmenšího xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. zahrnuje:
|
—
|
mikrokontaktní xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxxxxxx litografii
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx half xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 nm x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx všechny tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
