Oprava xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, kterým se xxxx nařízení Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx se xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx a xxxxxxxx xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx krokovací x xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx destiček polovodičů xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx metod, xxxxx mají xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; nebo
|
|
b.
|
schopnost xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx vypočítá xxxxx vzorce:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x velikosti 45 xx nebo menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxx xx tepla
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (S-FIL)
|
|
|
3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 nm (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
