Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx mění xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx L 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3B001.f., body 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx vychylovaného xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí masky xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx součástek za xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 nm; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení speciálně xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx zápisu, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx hodnota + 3 sigma);“.
|
|
|
