Oprava nařízení Xxxxxx x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2018/1922 ze xxx 10. října 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední věstník Xxxxxxxx xxxx X 319 ze dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně konstruovaná xxx výrobu masek, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx vychylovaného xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx než 17 xx (střed + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx vrstvou menší xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší než 27 nm (střední xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x šířce v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší než 65 xx x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
