Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Rady (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx zboží xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx X 319 ze dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně konstruovaná xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx at xxxx maximum (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx přímého xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, která xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx paprsek; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
