Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx kontrolu xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx věstník Xxxxxxxx unie X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 a 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx vychylovaného xxxxxxxxxxx elektronového paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx nebo „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx x polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (FWHM)) xxxxx než 65 xx x umístění xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený elektronový xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku nejvýše 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) menší než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
